該閥10mm 寬，產(chǎn)品尺寸小、設計緊湊，重量輕；可以真空, 正壓兩用；無油潤滑、發(fā)塵量少，泄漏量少，符合半導體行業(yè)的潔凈室環(huán)境要求。

- 響應速度快且工作穩(wěn)定，最快可達1.5ms

- 使用壽命長，超過5億次

- 大流量